机译:CMOS-MEMS湿度传感器的制造与表征
机译:使用CMOS-MEMS技术的微型甲醇传感器的制造与表征
机译:掺Ru的LiCuFe_2O_4纳米粒子的制备,表征及其在电容式和电阻式湿度传感器中的应用
机译:基于CVD生长的MoS
机译:具有用于滤波器和温度传感器应用的嵌入式加热器的CMOS-MEMS新型谐振器的设计,制造和表征。
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机译:使用CmOs-mEms技术制造和表征微量甲醇传感器
机译:DRIE CmOs-mEms陀螺仪的制作,表征和分析